一种晶圆可接受性测试系统及方法

摘要

本发明提供一种晶圆可接受性测试系统及方法，主要是在晶圆可接受性测试之后增加一测试异常状态判断以及判断结果输出的过程，即通过所述测试对晶圆进行可接受性测试的测试结果进行整理和分析以及根据所述测试结果处理模块的处理结果输出异常状态数据，从而判断晶圆可接受性测试异常的原因，进而使晶圆测试用户能够更加快捷、方便和准确地把握晶圆可接受性测试异常的原因。

主权项

一种晶圆可接受性测试系统，其特征在于，包括：输入参数定义模块，用于设置晶圆可接受性测试需要输入的参数及其数值范围；输出参数定义模块，用于设置晶圆可接受性测试输出的参数及其数值范围；参数测试模块，用于根据输入参数定义模块和输出参数定义模块的设置对晶圆进行可接受性测试；测试结果处理模块，用于对晶圆可接受性测试输出的测试数据进行收集、整理和分析；测试异常状态返回模块，用于根据所述测试结果处理模块的处理结果以及输入参数定义模块和输出参数定义模块的设置来输出异常数据以判断晶圆可接受性测试异常的原因。