一种防止光刻机设备作业条件错位的系统及方法

摘要

本发明提供一种防止光刻机设备作业条件错位的系统及方法，先建立涂胶显影机的作业条件并先执行，而后建立步进扫描机的作业条件并接着执行，并且从建立涂胶显影机的作业条件到建立步进扫描机的作业条件的过程中判断是否有正在执行的作业条件，一旦有正在执行的作业条件，就需要等待，在该执行完成后才开始另一作业条件的执行，且进一步的，在创建作业条件不成功时自动取消本次涂胶扫描进程，从而避免了异常情况下可能发生的产品用错作业条件的问题。

主权项

一种防止光刻机设备作业条件错位的系统，其特征在于，包括：第一创建模块，用于创建涂胶显影机的作业条件；第二创建模块，用于在所述涂胶显影机的作业条件被执行后，创建步进扫描机的作业条件；缓存模块，用于按顺序缓存创建的每个作业条件的相关信息；判断模块，用于判断下述的执行模块内是否有正在执行的作业条件，若有，则继续等待；若无，则将缓存模块中的最先缓存的作业条件送入下述的执行模块；执行模块，用于执行内部接收到的作业条件。