具有磁局限以及法拉第屏蔽的感应耦合RF等离子体源

摘要

本揭示是一种提供磁局限以减少等离子体流失和法拉第屏蔽以抑止寄生电容成份的感应耦合射频等离子体源。感应耦合射频等离子体系统包括一射频电源、一等离子体室、一永久磁铁数组以及一天线数组。等离子体室包括多面墙以及具有一内表面和一外表面的介电窗，其中内表面形成等离子体室的一墙。平行的导电永久磁铁的数组电性相互连接，并内嵌于接近内表面的介电窗墙且在一端耦接至接地面。永久磁铁数组组件于等离子体室内交替地朝向等离子体和远离等离子体被磁化，以形成一多尖点磁场。天线数组包括射频电流可通过且相互平行的长导管。天线数组与永久磁铁数组系相互垂直排列。

主权项

一种提供磁局限和法拉第屏蔽的感应耦合射频等离子体系统，该感应耦合射频等离子体系统包括：射频电源，以产生射频电流；等离子体室，可操作地注入有用以产生等离子体的工作气体；介电窗，具有内表面和外表面，其中该内表面形成该等离子体室的墙；永久尖点磁铁数组，包括相互平行的组件，该些组件电性相互连接且于一端耦接至接地面，且该端内嵌于在磁尖点几何的该介电窗中并接近于该内表面尖点；以及天线数组，耦合该射频电源且包括射频电流可通过且相互平行的长管，其中该天线数组垂直于该永久尖点磁铁数组。