发明名称 |
一种紫外光辅助热固化纳米压印技术与材料 |
摘要 |
本发明提供了一种紫外光辅助热固化的纳米压印技术与材料,属于微纳加工的技术领域。本发明采用阳离子型光引发剂代替热引发剂,利用环氧基团常温下阳离子聚合反应速率慢、转化率只有10%以下,而在温度60℃以上可提高转化率至80%的特性,首先在常温下利用紫外光光解阳离子型光引发剂,产生阳离子,接着再进行压印与加热固化步骤,能实现快速热固化纳米压印,解决热固化纳米压印固化温度高、时间长的问题和紫外光固化纳米压印需透明压印模板或衬底材料的限制。 |
申请公布号 |
CN102508409B |
申请公布日期 |
2014.03.19 |
申请号 |
CN201110331253.3 |
申请日期 |
2011.10.27 |
申请人 |
无锡英普林纳米科技有限公司 |
发明人 |
葛海雄;张继宗;袁长胜;卢明辉;陈延峰 |
分类号 |
G03F7/00(2006.01)I;G03F7/075(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 |
南京知识律师事务所 32207 |
代理人 |
汪旭东 |
主权项 |
一种紫外光辅助热固化纳米压印方法,其特征在于,首先在常温下利用紫外光对纳米压印胶材料进行曝光,然后进行纳米压印步骤与热固化步骤;所述热固化步骤的加热温度为90℃~110℃;所述纳米压印胶材料包括多官能度环氧树脂预聚物、阳离子型光引发剂和溶剂,还可以包括增塑剂、固化加速剂、光敏剂、流平剂、脱模剂或其它添加剂。 |
地址 |
214192 江苏省无锡市芙蓉中三路99号 |