光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置

摘要

光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置，本发明涉及一种光学元件修复用机械装置。本发明为了解决光学元件在高能束强激光打靶过程中所产生微缺陷的生长问题。竖直件垂直安装在平板底座上，平板底座上装有X轴直线单元，X轴直线单元与Y轴直线单元通过XY直线单元连接件连接，Y轴直线单元通过两个连接件与C轴旋转单元连接，工作台装在C轴旋转单元上，夹具体装在工作台上，Z轴直线单元装在竖直件上，Z轴直线单元通过两个连接件与B轴旋转单元连接，主轴部分连接件装在B轴旋转单元上，电主轴压紧夹装在主轴第一压紧件与主轴第二压紧件之间，竖直件的主安装面上装有CCD对刀与监控装置。本发明用于光学元件表面修复中。

主权项

一种光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置，其特征在于：光学元件表面微缺陷微修复用多轴联动机械装置包括平板底座(1)、X轴直线单元(2)、XY直线单元连接件(3)、Y轴直线单元(4)、YC轴第一连接件(5)、YC轴第二连接件(6)、C轴旋转单元(7)、工作台(8)、夹具体(9)、CCD对刀与监控装置(A)、竖直件(11)、Z轴直线单元(14)、ZB轴第一连接件(15)、ZB轴第二连接件(17)、B轴旋转单元(18)、主轴部分连接件(19)、电主轴(20)、主轴第一压紧件(21)和主轴第二压紧件(22)、球头铣刀(23)、多轴控制器(24)、上位机(25)和六个驱动器(26)，竖直件(11)垂直安装在平板底座(1)上，平板底座(1)上还安装有X轴直线单元(2)，X轴直线单元(2)的运动轴线与竖直件(11)的主安装面(11‑1)平行，X轴直线单元(2)与Y轴直线单元(4)通过XY直线单元连接件(3)连接，Y轴直线单元(4)的运动轴线与X轴直线单元(2)的运动轴线垂直，Y轴直线单元(4)通过YC轴第一连接件(5)和YC轴第二连接件(6)与C轴旋转单元(7)连接，工作台(8)安装在C轴旋转单元(7)上，夹具体(9)安装在工作台(8)上，Z轴直线单元(14)安装在竖直件(11)的主安装面(11‑1)上，Z轴直线单元(14)的运动轴线垂直于平板底座(1)的上端面，Z轴直线单元(14)通过ZB轴第一连接件(15)和ZB轴第二连接件(17)与B轴旋转单元(18)连接，主轴部分连接件(19)安装在B轴旋转单元(18)上，主轴第一压紧件(21)安装在主轴部分连接件(19)上，主轴第二压紧件(22)与主轴第一压紧件(21)连接，电主轴(20)压紧夹装在主轴第一压紧件(21)与主轴第二压紧件(22)之间，电主轴(20)上装夹球头铣刀(23)，竖直件(11)的主安装面(11‑1)上还安装有CCD对刀与监控装置(A)，X轴直线单元(2)的驱动线(2‑1)和信号线(2‑2)、Y轴直线单元(4)的驱动线(4‑1)和信号线(4‑2)、C轴旋转单元(7)的驱动线(7‑1)和信号线(7‑2)、Z轴直线单元(14)的驱动线(14‑1)和信号线(14‑2)、B轴旋转单元(18)的驱动线(18‑1)和信号线(18‑2)以及电主轴(20)的驱动线(20‑1)和信号线(20‑2)均与相应的驱动器(26)连接，X轴直线单元(2)的反馈线(2‑3)、Y轴直线单元(4)的反馈线(4‑3)、C轴旋转单元(7)的反馈线(7‑3)、Z轴直线单元(14)的反馈线(14‑3)和B轴旋转单元(18)的反馈线(18‑3)与多轴控制器(24)连接，除与电主轴(20)连接的驱动器(26)之外的其余驱动器(26)的信号线(26‑1)均与多轴控制器(24)连接，多轴控制器(24)与上位机(25)连接，CCD对刀与监控装置(A)的信号线(A‑1)与上位机(25)连接。