有机EL元件的制造方法和制造装置

摘要

一种有机EL元件的制造方法，其中，使阴影掩模介入在与输送部相抵接的基材以及与上述输送部相对且配置在与上述基材接近的位置的蒸镀源的喷嘴之间且该阴影掩模在上述基材的附近，该阴影掩模具有以旋转轴为中心进行旋转驱动的板状的旋转体并在该旋转体上形成有开口部，使上述阴影掩模以追随上述基材的移动的方式旋转并自上述喷嘴喷出气化了的有机EL膜的结构层形成材料，从而在上述基材上的与上述输送部相反的面侧形成有机EL膜的结构层。

主权项

一种有机EL元件的制造方法，其中，向输送部供给带状的基材，以使上述基材的一面侧抵接于上述输送部的表面的方式输送上述基材，使阴影掩模介入与上述输送部相抵接的上述基材以及与上述输送部相对且配置在与上述基材接近的位置的蒸镀源的喷嘴之间且该阴影掩模在上述基材的附近，该阴影掩模具有以旋转轴为中心进行旋转驱动的板状的旋转体并在该旋转体上形成有开口部，使上述阴影掩模以追随上述基材的移动的方式旋转并自上述喷嘴喷出气化了的有机EL膜的结构层形成材料，并且，通过上述开口部向上述基材侧供给气化了的上述结构层形成材料，从而在上述基材上的与上述输送部相反的面侧形成有机EL膜的结构层。