射频等离子体源

摘要

一种射频等离子体源，属于电子仪器设备领域，包括设备机箱，机箱前部的面板上布有开关、液晶显示屏，以及参数设定与功率调节按键，机箱内部设有电子线路板，该线路板上包含有处理射频电源和匹配器数据并显示到液晶屏上的主板部分；它连接到电源控制和功率控制的电路部分，再连接到匹配器计算部分。射频等离子体源的主要效果是：体积小，比原采用射频电源和射频自动匹配器方案节约体积40％；射频连线减少；射频电源和自动匹配器之间通讯集成化处理，使二者能更好的配合。

主权项

一种射频等离子体源，包括设备机箱，机箱前部的面板上布有开关、液晶显示屏，以及参数设定与功率调节按键，其特征在于，机箱内部设有电子线路板，该线路板上包含有处理射频电源和匹配器数据并显示到液晶屏上的主板部分；它连接到电源控制和功率控制的电路部分，再连接到匹配器计算部分。