| 发明名称 | 靶材缝隙清洁装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种靶材缝隙清洁装置和方法，涉及半导体制造领域，能够避免缝隙清洁过程中粉尘的散落。该靶材缝隙清洁装置，包括：靶材正面吹气单元、靶材侧面吹气单元和靶材侧面吸尘器。该靶材缝隙清洁方法，包括：向靶材正面的缝隙吹气；向靶材第一侧面的缝隙吹气；从靶材第二侧面的缝隙吸取粉尘，所述第一侧面为与所述第二侧面相对的面。 | ||
| 申请公布号 | CN103639153A | 申请公布日期 | 2014.03.19 |
| 申请号 | CN201310686918.1 | 申请日期 | 2013.12.13 |
| 申请人 | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 邢宏伟;穆慧慧;吴斌;张鹤群 |
| 分类号 | B08B5/02(2006.01)I;B08B15/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B5/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
| 主权项 | 一种靶材缝隙清洁装置，其特征在于，包括：靶材正面吹气单元、靶材侧面吹气单元和靶材侧面吸尘器。 | ||
| 地址 | 230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号 | ||