发明名称 |
承载和固定TEM样品的金属网 |
摘要 |
本发明涉及一种承载和固定TEM样品的金属网,所述金属网的底部为向下弯曲的弧形,所述金属网的顶部设有若干凹槽;每个所述凹槽的侧壁均设置有若干呈阶梯状分布的台阶,且所述台阶沿所述凹槽的侧壁向凹槽内逐渐延伸直至所述凹槽的底部。本发明将TEM样品制备工艺中用于固定和承载样品的金属网中固定样品的部分设置成阶梯状的台阶结构,使得可以一次性地放置多个样品以进行TEM观测;另外样品可以粘放于台阶的上表面上,相对于粘放于侧表面上而言,降低了脱落的可能性;另外,本发明的阶梯状台阶结构的设计,可以使得当粘放的样品发生掉落时,减少样品遗失的几率。 |
申请公布号 |
CN103646839A |
申请公布日期 |
2014.03.19 |
申请号 |
CN201310554617.3 |
申请日期 |
2013.11.08 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
史燕萍 |
分类号 |
H01J37/20(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/20(2006.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
竺路玲 |
主权项 |
一种承载和固定TEM样品的金属网,其特征在于,所述金属网的底部为向下弯曲的弧形,所述金属网的顶部设有若干凹槽;每个所述凹槽的侧壁均设置有若干呈阶梯状分布的台阶,且所述台阶沿所述凹槽的侧壁向凹槽内逐渐延伸直至所述凹槽的底部。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 |