晶圆运输推车

摘要

本实用新型提供一种晶圆运输推车，包括车轮、车身以及把手，其特征在于，所述晶圆运输推车还包括电磁制动系统，所述电磁制动系统至少包括：与所述车轮同轴连接的制动盘；与所述制动盘连接的制动杆；衔铁和设置在车身底盘、与所述衔铁相对应配合使用的电磁铁，所述电磁铁连接有直流电源；一端与所述制动盘连接、另一端与所述衔铁连接的弹簧，所述衔铁在所述弹簧的拉力作用下向所述制动杆施加用以卡住所述制动盘的压力。本实用新型避免了晶圆运输推车翻倒并导致晶圆破损的问题，具有无污染、结构紧凑、操作简单、响应灵敏、寿命长久和使用可靠的优点。

主权项

一种晶圆运输推车，包括车轮、车身以及把手，其特征在于，所述晶圆运输推车还包括电磁制动系统，所述电磁制动系统至少包括：与所述车轮同轴连接的制动盘；与所述制动盘连接的制动杆；衔铁和设置在车身底盘、与所述衔铁相对应配合使用的电磁铁，所述电磁铁连接有直流电源；一端与所述制动盘连接、另一端与所述衔铁连接的弹簧，所述衔铁在所述弹簧的拉力作用下向所述制动杆施加用以卡住所述制动盘的压力。