检漏装置和用于借助检漏装置来检验对象密封性的方法

摘要

检漏装置具有测试室（10），测试室与抽真空泵装置（14）连接用于抽真待测试空。此外，测试室（10）经由测试气体管路（20）与测试气体泵装置（18）连接。测试气体泵装置（18）在其主入口（28）处与测试气体检测器（30）连接，使得能够按逆流原理对测试气体进行检测。在测试气体管路（20）中设置有阀装置（38）。该阀装置具有测试气体室（44）用于缓存从测试室（10）中提取的测试气体。

主权项

一种检漏装置，具有：测试室（10）和/或待测试的对象，所述测试室或所述待测试的对象与抽真空泵装置（14，36）连接用于抽真空，与所述测试室和/或所述待测试的对象和测试气体泵装置（18）的中间入口（24）连接的测试气体管路（22），设置在所述测试气体泵装置（18）的主入口（28）处的测试气体检测器（30），其中所述测试气体泵装置（18）具有至少一个转子元件，使得主流动路径被定义为从所述主入口（28）沿着所述至少一个转子元件到出口（32），并且其中逆流路径从所述中间入口（24）延伸至所述主入口（28），以及设置在所述测试气体管路（20）中的阀装置（38），所述阀装置具有测试气体室（44），所述测试气体室用于缓存从所述测试室（10）或者待测试的对象中提取的、待输送给所述测试气体泵装置（18）的测试气体。