碱产生剂、感光性树脂组合物、包含该感光性树脂组合物的图案形成用材料、使用了该感光性树脂组合物的图案形成方法以及物品

摘要

本发明涉及一种碱产生剂，其用下述化学式(1)表示，且通过电磁波的照射和加热而产生碱。本发明为灵敏度优异且不管高分子母体的种类如何均可以利用的碱产生剂，含有本发明的碱产生剂的感光性树脂组合物可以在曝光部和未曝光部得到大的溶解性对比度，从而得到形状良好的图案。化学式(1)。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有通过碱性物质或通过在碱性物质存在下的加热而促进向最终产物反应的高分子母体、以及用下述化学式(1)表示，且通过电磁波的照射和加热而产生碱的碱产生剂，化学式（1）化学式（1）中，R¹及R²分别独立地为氢或1价有机基团，它们可以相同或不同，R¹及R²可以结合而形成环状结构，也可以包含杂原子的结合键，其中，R¹及R²中的至少1个为1价有机基团，R³、R⁴、R⁵及R⁶分别独立地为氢、卤素、羟基、硝基、亚硝基、巯基、甲硅烷基、硅烷醇基或1价有机基团，它们可以相同或不同，R³、R⁴、R⁵及R⁶中的2个以上可以结合而形成环状结构，也可以包含杂原子的结合键。