| 摘要 |
Przedmiotem wynalazku jest czujnik promieniowania jonizujacego, przeznaczony do pomiaru wysokich dawek promieniowania w akceleratorach czastek, reaktorach jadrowych, skladowiskach odpadów radioaktywnych, oraz urzadzeniach, które wytwarzaja i/lub sa poddane dzialaniu promieniowania jonizujacego. Czujnik ma szczelnie polaczone i ulozone kolejno pierwsze podloze szklane (6), pierwsze podloze krzemowe (5), drugie podloze szklane (4) oraz drugie podloze krzemowe (9), przy czym w pierwszym podlozu krzemowym (5) wykonany jest zbiornik na tworzywo sztuczne (1), w którym umieszczone jest tworzywo sztuczne (2) a w drugim podlozu krzemowym (9) wykonana jest komora dolna (8) zamknieta krzemowa membrana mikromechaniczna (7), przy czym zbiornik na tworzywo sztuczne (1) polaczony jest otworem (3) wykonanym w drugim podlozu szklanym (4) z komora dolna (8), ponadto zbiornik na tworzywo sztuczne (1), otwór (3) oraz komora dolna (8) wypelnione sa atmosfera beztlenowa. |
