| 摘要 |
Vorrichtung zur nasschemischen Behandlung von Objekten, insbesondere von flachen, insbesondere scheibenförmigen Gegenständen wie Halbleiter-Wafern, Substraten oder dergleichen (12, 14) mit–einer Trommel (10) mit einer Beladungsöffnung (11) und einem Trommelboden (24),–einer Halterung (16, 18) für die Objekte (12, 14), die um eine Rotationsachse drehbar in der Trommel (10) angeordnet ist,–einem Motor (20) zum Antreiben der Halterung (16, 18),–einer oder mehreren Sprühdüsen (22) zum Besprühen der in der Halterung (16, 18) gelagerten Objekte (14) mit Chemikalien,–einer durch den Trommelboden (24) hindurchtretenden Antriebsachse (30) für die Halterung (16) und–einer Vorrichtung (30) zum Koppeln der Antriebswelle (26) des Motors (20) mit der Antriebsachse (30) für die Halterung (16),–wobei der Motor (20) versetzt zur Antriebsachse (30) für die Halterung (16) angeordnet ist. |
