| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Scanvorrichtung zum Scannen eines Laserstrahls (1) in einer Arbeitsebene (2), umfassend optische Wellenfronttransformationsmittel (3), die so ausgebildet sind, dass sie den Laserstrahl (1) derart beeinflussen können, dass der Laserstrahl (1) nach einem Hindurchtritt durch die optischen Wellenfronttransformationsmittel (3) in zumindest einer Richtung eine Top-Hat-Winkelverteilung aufweist, Scanmittel, die so ausgebildet sind, dass sie den Laserstrahl (1) in der Arbeitsebene (2) in zwei Raumrichtungen bewegen können, sowie ein Objektivmittel (4) mit einer Anzahl hintereinander angeordneter Linsen (40, 41, 42, 43), das im Strahlenweg des Laserstrahls (1) zwischen den Scanmitteln und der Arbeitsebene (2) angeordnet ist und so ausgebildet ist, dass es eine Fouriertransformation des Laserstrahls (1) mit der Top-Hat-Winkelverteilung bewirken kann, wobei die Scanmittel genau einen Spiegel (5) umfassen, der um zwei Drehachsen, die sich in einer Pupillenebene (6) des Objektivmittels (4) in einem Drehpunkt (9) schneiden, drehbar ist. |
