Verfahren und Einrichtung zur Messung der Rundheit

摘要

Einrichtung zur Messung der Rundheit, welche aufweist: einen Tisch zur Aufnahme eines darauf angebrachten Werkstücks; eine Detektorvorrichtung zur Feststellung von Verschiebungen auf dem Werkstück, wobei das Werkstück eine Umfangsoberfläche mit einer Rundheit aufweist, die gemessen werden soll; eine Drehantriebsvorrichtung zum Drehantrieb entweder des Tisches oder der Detektorvorrichtung um eine Drehachse; eine Verschiebeeinrichtung zum Verschieben des Tisches entlang einer ersten Betätigungsrichtung und einer zweiten Betätigungsrichtung senkrecht zur ersten Betätigungsrichtung; und eine Zentriervorrichtung, um eine Exzentrizität des Werkstücks gegenüber der Drehachse zu erhalten, und die Exzentrizität bei der Messung der Rundheit zu kompensieren, wobei die Zentriervorrichtung einen Winkelfehler zwischen der ersten Betätigungsrichtung und einer Winkelbezugsgröße der Drehantriebsvorrichtung erhält, und die Zentriervorrichtung das Werkstück auf der Grundlage des Winkelfehlers und der Exzentrizität zentriert.