| 摘要 |
Die Erfindung stellt eine Formmesseinrichtung, ein Formmessverfahren und ein Formmessprogramm bereit, die imstande sind, einen Flächenzustand eines Messobjekts beim Messen einer Form des Messobjekts mit hoher Genauigkeit auf deutliche Weise zu beobachten. Durch eine Lichtprojektionseinheit abgestrahltes Licht wird durch ein Messobjekt reflektiert und durch eine Lichtempfangseinheit empfangen. Stereoskopische Formdaten des Messobjekts werden durch ein trianguläres Entfernungsmessverfahren erzeugt. Das durch die Lichtprojektionseinheit abgestrahlte Licht wird durch das Messobjekt reflektiert und durch die Lichtempfangsmenge empfangen. Gesamtfokustexturbilddaten des Messobjekts werden durch Zusammenstellen von Texturbilddaten einer Vielzahl von Abschnitten des Messobjekts beim Verändern einer Fokusposition der Lichtempfangsmenge erzeugt. Die stereoskopischen Formdaten und die Gesamtfokustexturbilddaten werden zusammengestellt, um Synthesedaten zu erzeugen. |
