Partikelstrahlmikroskop zur Erzeugung von Materialbestandteilen

摘要

Verfahren zum Betreiben eines Partikelstrahlmikroskops, umfassend: Scannen eines Primärstrahls in einem Scanbereich einer Oberfläche des Objekts; Detektieren von Partikeln durch ein Detektorsystem für eine Vielzahl von Auftrefforten des Primärstrahls innerhalb des Scanbereiches; wobei die detektierten Partikel von einem Wechselwirkungsbereich am jeweiligen Auftreffort emittiert werden, wobei in jedem der Wechselwirkungsbereiche der Primärstrahl mit dem Objekt wechselwirkt; Erzeugen von Detektorsignalen durch das Detektorsystem, welche für jeden der Auftrefforte eine Intensität der detektierten Partikel repräsentieren; und Berechnen von Materialdaten der Wechselwirkungsbereiche abhängig von den Detektorsignalen und abhängig von Topographiedaten, welche eine Topographie der Oberfläche in zumindest einem Teil des Scanbereiches repräsentieren.