| 摘要 |
In einer Ausführungsform umfasst ein Verfahren das Ansteuern von einer oder von mehreren Ansteuerelektroden, die auf einem Substrat ausgebildet sind, mit einem oder mit mehreren Ansteuersignalen. Ein Schleifer, der zumindest einen Arm umfasst, wird mit einer vorbestimmten Spannung angesteuert. Der Schleifer ist von einer Vielzahl von Ausleseelektroden, die auf dem Substrat ausgebildet sind, elektrisch isoliert. Für jede Ausleseelektrode der Vielzahl der Ausleseelektroden wird eine durch die Ausleseelektrode gespeicherte Ladung detektiert. Eine Verarbeitungseinheit ermittelt eine Position des Schleifers auf Basis der detektierten Ladungen, die durch die Vielzahl von Ausleseelektroden gespeichert werden. |
