带旁路保护的铝刻蚀腔压力计管路

摘要

发明公开了一种带旁路保护的铝刻蚀腔压力计管路，包括下腔体、压力计焊接管路、加热器及压力计，其中所述加热器用于对所述下腔体、压力计焊接管路及压力计进行加热，所述压力计用于测量所述铝刻蚀腔内的压力值其特征在于：所述加热器及所述压力计焊接管路中间加装有一旁路。本发明带旁路保护的铝刻蚀腔压力计管路，可以使铝刻蚀工艺反应物主要沉积在旁路中，有效的减少铝刻蚀工艺反应物在压力计内部传感器表面的沉积及腐蚀。

主权项

一种带旁路保护的铝刻蚀腔压力计管路，包括下腔体、压力计焊接管路、加热器及压力计，所述下腔体及所述加热器通过所述压力计焊接管路相连接，所述压力计与所述加热器相连接，其中所述加热器用于对所述下腔体、压力计焊接管路及压力计进行加热，所述压力计用于测量所述铝刻蚀腔内的压力值，其特征在于：所述加热器及所述压力计焊接管路中间加装有一旁路。