发明名称 |
一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨加热器 |
摘要 |
发明涉及一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨加热器,包括形成加热系统的加热器本体(1)、设置在加热器本体(1)侧壁的侧壁发热体(2)、以及设置在加热器本体(1)底部用于支撑石墨坩埚的底部支撑脚(3),所述的侧壁发热体(2)向下和向内延伸形成弧形的底部发热体(4)。本发明所述石墨加热器设计上引进新型发热布局理念,使得在维持传统加热器性能的基础下具有热态分布合理、热能利用率高、拉制大尺寸单晶成品率高等特点。 |
申请公布号 |
CN103628129A |
申请公布日期 |
2014.03.12 |
申请号 |
CN201210309221.8 |
申请日期 |
2012.08.27 |
申请人 |
上海杰姆斯电子材料有限公司 |
发明人 |
陈昌林;李德建;陈锐;陈剑春;付雁清;薛东;李福龙 |
分类号 |
C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/14(2006.01)I |
代理机构 |
北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 |
代理人 |
另婧 |
主权项 |
一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨加热器,包括形成加热系统的加热器本体(1)、设置在加热器本体(1)侧壁的侧壁发热体(2)、以及设置在加热器本体(1)底部用于支撑石墨坩埚的底部支撑脚(3),其特征在于:所述的侧壁发热体(2)向下和向内延伸形成弧形的底部发热体(4)。 |
地址 |
200062 上海市普陀区洲中环中心金沙江路1628弄5号1001室 |