对薄层材料进行无损测量的方块电阻测试仪

摘要

实用新型公开了一种对薄层材料进行无损测量的方块电阻测试仪，包括红宝石四探针头、测试架、主机、测量控制系统、测试电压调节器和恒流源通断切换开关，主机内包括恒流源电路和电源电路，测试电压调节器设置在电源电路和四探针头之间，用于在测试开始前调节四探针头中两个外探针之间的测试电压。恒流源通断切换开关设置在恒流源电路和四探针头之间，用于控制在探针针尖完全压触在薄层材料表面后才接通恒流源电路。本实用新型可以调节1、4探针的测试电压，避免发生高压击穿，红宝石四探针头有恰当曲率半径和压力，探针压力可在25-250g的较大范围内变化，能够广泛应用于测量各种新型薄层材料。

主权项

对薄层材料进行无损测量的方块电阻测试仪，包括四探针头、测试架、主机、测量控制系统，主机内包括恒流源电路和电源电路，其特征在于，方块电阻测试仪还包括测试电压调节器，测试电压调节器设置在电源电路和四探针头之间，用于在测试开始前调节四探针头中两个外探针之间的测试电压。