涂布设备和涂布方法

摘要

发明涉及涂布设备，其包括至少一个可抽空的接收部，所述接收部用于接收基底；至少一个气体供应装置，其将至少一种气态前体引入到所述接收部中；以及至少一个活化装置，该活化装置包括至少一个可加热的活化部件，所述活化部件的末端被紧固到保持部件的紧固点处。并提供屏蔽部件，其至少保护所述紧固点至少部分地免受气态前体的作用。所述屏蔽部件具有带第一侧面和第二侧面的纵向区域，该第一侧面布置在所述保持部件上，在屏蔽部件的第二侧面上布置有闭合部件，该闭合部件具有至少一个出口端口。本发明的特征在于至少一个分隔部布置在所述屏蔽部件内部并将所述屏蔽部件的内部空间分隔为第一子空间和第二子空间。

主权项

涂布设备(1)，包括：至少一个可抽空的接收部(10)，其用于接收基底(30)；至少一个气体供应装置(20，21，22)，通过该气体供应装置，至少一种气态前体能够被引入到所述接收部(10)中；以及至少一个活化装置(40)，该活化装置包括至少一个可加热的活化部件(41)，所述活化部件的末端在紧固点(42)处被紧固到保持部件(43)，存在一屏蔽部件(50)，通过该屏蔽部件，至少所述紧固点(42)能够至少部分地免受所述气态前体的作用，所述屏蔽部件(50)具有带第一侧面和第二侧面的纵向区域，该第一侧面布置在所述保持部件上，在屏蔽部件(50)的第二侧面上布置有闭合部件(52)，该闭合部件具有至少一个出口端口(53)，其中，至少一个分隔部(55)布置在所述屏蔽部件(50)内部并将所述屏蔽部件(50)的内部空间(56)分隔为第一子空间(56a)和第二子空间(56b)，其中，所述闭合部件(52)和所述分隔部(55)被设计为端壁。