片盒监控系统

摘要

发明公开了一种片盒监控系统，其包括光源发射器、光源接收器、处理器；光源发射器，固定在机械手上，用于发射平行于机械手平面的光线到装载平台的另一侧；光源接收器，设置在装载平台的另一侧，用于接收光源发射器发出的光线，并输出光源发射器发出的光线的受晶圆阻挡区的厚度、受晶圆阻挡区的中心点高度、受晶圆阻挡区一侧边点位的高度；处理器用于根据受晶圆阻挡区的厚度、受晶圆阻挡区的中心点高度、受晶圆阻挡区一侧边点位的高度，输出片盒前后或左右倾斜告警信号。本发明的片盒监控系统，能准确监控片盒倾斜状态。

主权项

一种片盒监控系统，其特征在于，包括装载平台、机械手、光源发射器、光源接收器、处理器；所述装载平台，用于放置片盒；所述机械手，位于所述装载平台的一侧，用于到装载平台上放置的片盒中取放晶圆；所述光源发射器，固定在所述机械手上，用于发射平行于所述机械手平面的光线到所述装载平台的另一侧；所述光源接收器，设置在所述装载平台的另一侧，用于接收所述光源发射器发出的光线，并输出所述光源发射器发出的光线的受晶圆阻挡区的厚度、受晶圆阻挡区的中心点高度、受晶圆阻挡区一侧边点位的高度；所述处理器，用于根据所述光源接收器输出的受晶圆阻挡区的厚度、受晶圆阻挡区的中心点高度、受晶圆阻挡区一侧边点位的高度，输出片盒前后或左右倾斜告警信号。