一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器

摘要

发明实施例提供了一种非制冷红外焦平面阵列探测器，包括：透明衬底、具有高热导系数的衬底传热结构和微悬臂梁单元，其中，所述微悬臂梁单元以非嵌套的方式通过所述衬底传热结构平铺于所述透明衬底上；所述微悬臂梁单元包括热形变结构、反光板复合结构和支撑结构；所述反光板复合结构采用双材料结构，其中，朝向所述透明衬底的一侧由金属材料制作，而朝向目标物体的一层由具有高红外吸收系数的材料制作。通过该检测器对目标物体进行检测时，来自目标物体的红外光直接照射在探测器的红外吸收层上，提高了测量的灵敏度。另外，由于该探测器所采用的透明衬底，无需将微悬臂梁单元下方的衬底掏空，降低了工艺复杂度。

主权项

一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器，其特征在于，包括：透明衬底、具有高热导系数的衬底传热结构和微悬臂梁单元，其中，所述微悬臂梁单元以非嵌套的方式通过所述衬底传热结构平铺于所述透明衬底上；所述微悬臂梁单元包括热形变结构、反光板复合结构和支撑结构；所述支撑结构与所述热形变结构各有两组，分别位于所述反光板复合结构的两侧，每组热形变结构一端与所述支撑结构相连接，一端与所述反光板复合结构相连接；所述反光板复合结构采用双材料结构，其中，朝向所述透明衬底的一侧由金属材料制作，而朝向目标物体的一层由具有高红外吸收系数的材料制作。