一种还原同时实现氮掺杂的氧化石墨烯微结构的激光加工方法

摘要

种还原同时实现氮掺杂的氧化石墨烯微结构的激光加工方法，属于微纳制造技术领域。其首先在衬底上制备氧化石墨烯薄膜，然后在氧化石墨烯薄膜上制作提供加工气氛的微腔，最后在NH3条件下，利用搭建的激光微纳加工系统对氧化石墨烯进行激光直写加工，获得还原并氮掺杂的氧化石墨烯微结构。本发明结合激光加工高精度、任意成型等特点，根据软件编辑可设计并获得任意形状的氮掺杂的石墨烯微结构，实现器件的任意集成，并且调节加工氛围、激光加工功率、曝光时间、加工步长可调节还原程度和掺杂浓度，最高掺杂浓度可达10.3%。氮原子的种类（包括石墨化、吡啶化和吡咯化的氮原子）和含量可通过调节激光功率来进行调变。

主权项

一种还原同时实现氮掺杂的氧化石墨烯微结构的激光加工方法，其步骤如下：1)在衬底上制备氧化石墨烯薄膜；2)在氧化石墨烯薄膜上制作提供加工气氛的微腔；3)在NH3条件下，对氧化石墨烯进行激光直写加工，从而得到还原同时实现氮掺杂的氧化石墨烯微结构。