| 发明名称 | 新型微通道板清洗方法 | ||
| 摘要 | 种新型微通道板清洗方法：利用超声波多被清洗的所述微通道板表面进行清洗2~5分钟；利用不活泼气体Ar在高压电场作用下产生的高速运动的等离子体束流冲击被清洗的所述微通道板表面，该方法绿色环保、无污染，清洗效果佳。 | ||
| 申请公布号 | CN103624036A | 申请公布日期 | 2014.03.12 |
| 申请号 | CN201310538719.6 | 申请日期 | 2013.11.05 |
| 申请人 | 昆山宏凌电子有限公司 | 发明人 | 夏泽军 |
| 分类号 | B08B7/04(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I | 主分类号 | B08B7/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京瑞思知识产权代理事务所(普通合伙) 11341 | 代理人 | 李涛 |
| 主权项 | 一种新型微通道板清洗方法，包括：1）利用超声波多被清洗的所述微通道板表面进行清洗2~5分钟；2) 利用不活泼气体Ar在高压电场作用下产生的高速运动的等离子体束流冲击被清洗的所述微通道板表面。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市周市镇新浦路150号 | ||