用于碱性蚀刻液再生设备的温控槽结构

摘要

发明公开了一种用于碱性蚀刻液再生设备的温控槽结构，包括槽体和槽体底部的底座，所述槽体内部凹陷形成反应槽，反应槽中部设有两块竖直的挡板，挡板上开有挡板溢流口，挡板之间还连接有连接板，槽体在连接板的上下两侧分别开有再生液出管口和母液管口，所述再生液出管口和母液管口位于槽体后端面并与反应槽连通，槽体在后端面的中间底部位置开有与反应槽连通的循环液出管口，槽体后端面上部和左右两侧面还开有与反应槽连通的溢流管口。本发明的优点在于：本发明设计的这种用于碱性蚀刻液再生设备的温控槽结构，不仅结构简单、成本低，且密封性好。

主权项

用于碱性蚀刻液再生设备的温控槽结构，包括槽体（10）和槽体（10）底部的底座（6），其特征在于：所述槽体（10）内部凹陷形成反应槽（5），反应槽（5）中部设有两块竖直的挡板（4），挡板（4）上开有挡板溢流口（11），挡板（4）之间还连接有连接板（12），槽体（10）在连接板（12）的上下两侧分别开有再生液出管口（9）和母液管口（7），所述再生液出管口（9）和母液管口（7）位于槽体（10）后端面并与反应槽（5）连通，槽体（10）在后端面的中间底部位置开有与反应槽（5）连通的循环液出管口（8），槽体（10）后端面上部和左右两侧面还开有与反应槽（5）连通的溢流管口（3）。