发明名称 由冶金级硅或精炼冶金级硅制造基于硅的纳米颗粒的方法
摘要 发明涉及通过基材(7)的电化学蚀刻来制造基于硅的纳米颗粒的方法,特征在于所述基材由冶金级硅或精炼冶金级硅制成,所述基材具有大于0.01%的杂质含量。
申请公布号 CN103635612A 申请公布日期 2014.03.12
申请号 CN201280022365.3 申请日期 2012.03.09
申请人 国立里昂应用科学学院;国家科学研究中心;阿波朗.索拉尔公司 发明人 V.莱森科;J.克莱姆;M.梅德加奥伊
分类号 C25F3/12(2006.01)I;H01L33/34(2006.01)I;B23H3/00(2006.01)I;B82Y30/00(2006.01)I;B82Y40/00(2006.01)I 主分类号 C25F3/12(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 宋莉
主权项 基于硅的纳米粉末的制造方法,特征在于其包括对包含大于10重量ppm杂质含量的冶金级或高纯冶金级Si的基材(7)进行电化学蚀刻。
地址 法国维勒班