用于混合蒸发的前体和气体以制造二氧化硅玻璃的方法和设备

摘要

供了一种用于混合蒸发的前体和气体以制备二氧化硅颗粒的设备。该设备包括混合器外壳，具有与该混合器外壳连通的出料口、用于在该混合器外壳中递送蒸发的前体的前体递送室，以及具有与该混合器外壳连通的出料口、用于递送待与所述蒸发的前体混合的氧化气体的氧化气体递送室。该设备还包括一回火元件，该回火元件布置在该混合器外壳中，位于所述前体递送室的出料口和所述氧化气体递送室的出料口之间。所述回火元件以L最小(厘米)=0.453U(Re)-0.5567限定的离所述氧化气体递送室出料口的最小间距设置，式中U是前体流速，单位为厘米/秒，Re是流动雷诺数。所述回火元件可在至少一侧包括倾斜的表面以减少蒸发的气体的再循环。

主权项

一种用于形成二氧化硅烟炱的方法，所述方法包括以下步骤：提供一种设备，所述设备包括混合器外壳，具有与该混合器外壳连通的出料口的前体递送室，具有与该混合器外壳连通的出料口的氧化气体递送室，以及布置在该混合器外壳中、位于所述前体递送室的出料口和所述氧化气体递送室的出料口之间的回火元件，其中所述回火元件以L最小(厘米)=0.453U(Re)‑0.5567限定的离所述氧化气体递送室出料口的最小间距设置，式中U是前体的流速，单位为厘米/秒，Re是流动雷诺数；在该混合器外壳中通过前体递送室来递送蒸发的前体；通过所述氧化气体递送室来递送待与所述蒸发的前体混合的氧化气体，从而所述蒸发的前体和所述氧化气体在所述混合器外壳中混合；以及将所述混合的蒸发的前体和氧化气体作为流输出到燃烧器，以形成二氧化硅烟炱。