降温装置及其操作方法

摘要

发明提供一种降温装置，设置于一装卸腔中且用以对放置于该装卸腔中的至少一玻璃基板降温。降温装置包括至少一气流引导组，设置于至少一玻璃基板的一侧。各气流引导组包括至少一气流入口及多个气流出口，这些气流出口朝向各玻璃基板。气流入口至各气流出口的气流路径的长度实质上相同。本发明还提供一种降温装置的操作方法，其包括：配置降温装置至装卸腔中且位于至少一玻璃基板的一侧，以及各气流引导组间歇地朝各玻璃基板喷出一气流，以使各玻璃基板降温至一第一温度。本发明的降温装置可提供玻璃基板均匀降温，本发明的降温装置的操作方法，透过气流引导组间歇地朝玻璃基板喷气，以避免持续喷气使玻璃基板温度下降过快而导致破片。

主权项

一种降温装置，设置于一装卸腔中且用以对放置于该装卸腔中的至少一玻璃基板降温，所述降温装置包括：至少一气流引导组，设置于所述至少一玻璃基板的一侧，各所述气流引导组包括至少一气流入口及多个气流出口，所述多个气流出口朝向各所述玻璃基板，其中：所述至少一气流入口至各所述气流出口的气流路径的长度实质上相同。