改良第三族氮化物基发光装置内部量子效率的方法与装置

摘要

发明公开一种改良第三族氮化物基发光装置内部量子效率的方法，其步骤包含提供具有单晶结构的第三族氮化物基基板，在第三族氮化物基基板上形成具有复数个不吸收可见光的粒子氧化层，其中粒子的大小、形状与密度由反应温度、反应时间及反应浓度所控制，以及在氧化层上生成第三族氮化物基层。其中氧化层具阻挡第三族氮化物基基板的线差排传播到第三族氮化物基层，借以改良第三族氮化物基发光装置的内部量子效率。本发明还公开一种改良第三族氮化物基发光装置内部量子效率的装置。

主权项

一种改良第三族氮化物基发光装置内部量子效率的方法，其特征在于其包括以下步骤： 提供具有单晶结构的第三族氮化物基基板； 于该第三族氮化物基基板上旋转涂布透明胶状溶液； 在温度130℃时，将其上布有透明胶状溶液的该第三族氮化物基基板进行60分钟的热退火，以形成晶种层，其中该透明胶状溶液为浓度为0.5M的醋酸锌溶解于浓度为0.5M的乙二醇甲醚配制而成，并在加热温度达65℃时搅拌其混合溶液两小时后取得的胶状溶液； 晶种层于浓度皆为0.5M的纯度99.5%的六亚甲四胺与纯度为98%的硝酸锌的生长溶液中形成氧化层，该氧化层具有复数个不吸收可见光的粒子，其中粒子的大小、形状与密度由反应温度、反应时间及反应浓度所控制；以及 在氧化层上生成第三族氮化物基层； 其中氧化层具阻挡第三族氮化物基基板的线差排传播到第三族氮化物基层，借以改良第三族氮化物基发光装置的内部量子效率。