发明名称 显示装置
摘要 发明提供一种具备Cu合金膜的显示装置,该Cu合金膜具有与透明基板的高密接性及低电阻率。本发明涉及一种显示装置,具有与透明基板直接接触的显示装置用Cu合金膜,其中,所述Cu合金膜具有层叠结构,该层叠结构包含:由Cu合金构成的第一层(Y),该Cu合金包含总计为2~20原子%的从由Zn、Ni、Ti、Al、Mg、Ca、W、Nb及Mn构成的组中选择出的至少1种元素;由纯Cu构成的第二层(X)、或实质上由以Cu为主成分且电阻率比所述第一层(Y)低的Cu合金构成的第二层(X),所述第一层(Y)与所述透明基板接触。
申请公布号 CN102265323B 申请公布日期 2014.03.12
申请号 CN201080003695.9 申请日期 2010.01.15
申请人 株式会社神户制钢所 发明人 后藤裕史;三木绫;富久胜文;越智元隆;大西隆;钉宫敏洋
分类号 G09F9/30(2006.01)I;C22C9/00(2006.01)I;C22C9/04(2006.01)I;C22C9/05(2006.01)I;C22C9/06(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;G02F1/1343(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I 主分类号 G09F9/30(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 雒运朴
主权项 一种显示装置,在透明基板上具有与透明基板直接接触的显示装置用Cu合金膜,其中,所述Cu合金膜具有层叠结构,该层叠结构包含:由Cu合金构成的第一层(Y),该Cu合金包含总计为2~20原子%的从由Zn、Ni、Al、Mg、Ca、W、Nb及Mn构成的组中选择出的至少1种元素;由纯Cu构成的第二层(X)、或实质上由以Cu为主成分且电阻率比所述第一层(Y)低的Cu合金构成的第二层(X),所述第一层(Y)与所述透明基板直接接触,并且,在所述第一层(Y)所含有的合金元素为Zn或Ni时,所述第一层(Y)的膜厚为20nm以上100nm以下,在所述第一层(Y)所含有的合金元素为Zn及Ni以外的元素时,所述第一层(Y)的膜厚为10nm以上100nm以下。
地址 日本兵库县