发明名称 |
用于蚀刻液循环再生设备的冷却管 |
摘要 |
发明公开了一种用于蚀刻液循环再生设备的冷却管,包括管体(4),管体(4)从进水管(3)端部弯折形成盘旋向下的回转型结构Ⅰ(5),回转型结构(5)底部管体(4)向回转型结构Ⅱ(5)内部伸出并形成盘旋向上的回转型结构Ⅱ(6),回转型结构Ⅱ(6)上部伸出形成出水管(7),所述进水管(3)和出水管(7)端部均设有密封挡板(2)。本发明的优点在于:本发明设计这种用于蚀刻液循环再生设备的冷却管,降温速度快,冷却更加均匀。 |
申请公布号 |
CN103628067A |
申请公布日期 |
2014.03.12 |
申请号 |
CN201210304490.5 |
申请日期 |
2012.08.24 |
申请人 |
成都虹华环保科技有限公司 |
发明人 |
韦建敏;张小波;张晓蓓 |
分类号 |
C23F1/46(2006.01)I;C25C1/12(2006.01)I;C25C7/06(2006.01)I |
主分类号 |
C23F1/46(2006.01)I |
代理机构 |
成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 |
代理人 |
谢敏 |
主权项 |
用于蚀刻液循环再生设备的冷却管,其特征在于:包括管体(4),管体(4)从进水管(3)端部弯折形成盘旋向下的回转型结构Ⅰ(5),回转型结构(5)底部管体(4)向回转型结构Ⅱ(5)内部伸出并形成盘旋向上的回转型结构Ⅱ(6),回转型结构Ⅱ(6)上部伸出形成出水管(7),所述进水管(3)和出水管(7)端部均设有密封挡板(2)。 |
地址 |
610000 四川省成都市高新区西芯大道4号 |