发明名称 |
电熔丝及其编程方法 |
摘要 |
申请公开了一种电熔丝,由位于下方的金属层一、位于上方的金属层二和连接两者的通孔电极所组成;所述金属层一上具有多个串联的熔丝部;所述金属层二上具有多根连线;所述通孔电极连接每个熔丝部的一端与一根连线。所述电熔丝的编程方法为:每次都在一个熔丝部的两端施加不同电位,以使编程电流流过该熔丝部;对每一个熔丝部重复上述操作;最后在多个串联的熔丝部的两端施加不同电位,以判断是否有电流经过;如果没有电流经过则表明编程成功;反之表明编程失败。本申请所述的电熔丝由多个熔丝部串联组成,虽然每个熔丝部都具有一定的失效率,但串联后整体失效率将随着串联的熔丝部数量而成倍降低。 |
申请公布号 |
CN103633065A |
申请公布日期 |
2014.03.12 |
申请号 |
CN201210290672.1 |
申请日期 |
2012.08.15 |
申请人 |
上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
发明人 |
谭颖;张可钢;陈广龙 |
分类号 |
H01L23/525(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/525(2006.01)I |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 31211 |
代理人 |
殷晓雪 |
主权项 |
一种电熔丝,由位于下方的金属层一、位于上方的金属层二和连接两者的通孔电极所组成;其特征是,所述金属层一上具有多个串联的熔丝部;所述金属层二上具有多根连线;所述通孔电极连接每个熔丝部的一端与一根连线。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 |