发明名称 电熔丝及其编程方法
摘要 申请公开了一种电熔丝,由位于下方的金属层一、位于上方的金属层二和连接两者的通孔电极所组成;所述金属层一上具有多个串联的熔丝部;所述金属层二上具有多根连线;所述通孔电极连接每个熔丝部的一端与一根连线。所述电熔丝的编程方法为:每次都在一个熔丝部的两端施加不同电位,以使编程电流流过该熔丝部;对每一个熔丝部重复上述操作;最后在多个串联的熔丝部的两端施加不同电位,以判断是否有电流经过;如果没有电流经过则表明编程成功;反之表明编程失败。本申请所述的电熔丝由多个熔丝部串联组成,虽然每个熔丝部都具有一定的失效率,但串联后整体失效率将随着串联的熔丝部数量而成倍降低。
申请公布号 CN103633065A 申请公布日期 2014.03.12
申请号 CN201210290672.1 申请日期 2012.08.15
申请人 上海华虹宏力半导体制造有限公司 发明人 谭颖;张可钢;陈广龙
分类号 H01L23/525(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I 主分类号 H01L23/525(2006.01)I
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人 殷晓雪
主权项 一种电熔丝,由位于下方的金属层一、位于上方的金属层二和连接两者的通孔电极所组成;其特征是,所述金属层一上具有多个串联的熔丝部;所述金属层二上具有多根连线;所述通孔电极连接每个熔丝部的一端与一根连线。
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