电编程金属熔丝器件结构

摘要

发明公开了一种电编程金属熔丝器件结构，包括：具有接触孔的金属层，连接在两金属层之间的金属熔丝，其中，所述金属熔丝具有至少一个蛇形折角，所述蛇形折角小于等于90度。本发明的电编程金属熔丝器件结构在不增加器件的尺寸的前提下，增加了至少一个蛇形折角。蛇形折角的作用不仅可以增加局部的电流密度，升高温度，还会对金属离子的迁移带来物理上的阻碍，使得一部分金属离子不能顺利通过蛇形折角部位产生堆积，蛇形折角部位之前的金属离子迁移耗尽，空位就聚集形成可见的空洞，器件发生断路（编程成功）。蛇形折角是发生电迁移断路的重点部位，通过增加器件蛇形折角结构，即能增加器件发生电迁移断路的效率。

主权项

一种电编程金属熔丝器件结构，包括：具有接触孔的金属层，连接在两金属层之间的金属熔丝，其特征是：所述金属熔丝具有至少一个蛇形折角。