发明名称 |
一种微细电铸层填充程度在线监测装置及监测方法 |
摘要 |
发明公开了一种微细电铸层填充程度在线监测装置,包括放置于电铸槽内阳极与阴极芯模之间的检测滚筒,检测滚筒连接监测电源的正极,电铸槽的阴极基板与电流表串联后连接监测电源的负极,通过检测滚筒所处位置的电流大小,在线判断阴极芯模相应位置处电铸层的填充程度,不需中止电铸过程就可以实时检测微细电铸的填充程度,提高了电铸效率与电铸质量,操作简便,经济实用,可以广泛应用于基于平面阴极芯模的微细电铸场合。 |
申请公布号 |
CN102409389B |
申请公布日期 |
2014.03.12 |
申请号 |
CN201110374704.1 |
申请日期 |
2011.11.23 |
申请人 |
河南理工大学 |
发明人 |
明平美;李松昭;王全才;王书卿;李广;商静瑜;吕文星;田二芳 |
分类号 |
C25D21/12(2006.01)I;C25D1/00(2006.01)I |
主分类号 |
C25D21/12(2006.01)I |
代理机构 |
郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 |
代理人 |
时立新 |
主权项 |
一种微细电铸层填充程度在线监测装置,其特征在于:包括放置于电铸槽内阳极与阴极芯模之间的设置有贯穿孔的检测滚筒,检测滚筒连接监测电源的正极,电铸槽的阴极基板与电流表串联后连接监测电源的负极。 |
地址 |
454003 河南省焦作市高新区世纪大道2001号 |