一种四氯化硅制备三氯氢硅的装置

摘要

种四氯化硅制备三氯氢硅的装置，本实用新型在原有的利用氯氢化方法制备三氯氢硅装置的基础上做了如下改进：在氢化反应器设置有金属硅粉进口、四氯化硅进口、氯化氢进口、氢气进口；原有的湿法除尘装置采用文丘里除尘装置，文丘里除尘装置设置有残夜出口，残夜出口通过管道与残液处理装置连接；干法除尘装置底部装有通向氢化反应器中部的连通管，连通管的斜角为55-60度，连通管上装有阀门；本实用新型提供了一种操作简单方便、连续稳定、节能降耗的四氯化硅制备三氯氢硅的装置。

主权项

一种四氯化硅制备三氯氢硅的装置，是由氢化反应器、干法除尘装置、湿法除尘装置、热量回收装置、精馏装置、冷凝装置、残液处理装置和储罐构成，氢化反应器通过管道与干法除尘装置连接，干法除尘装置通过管道与热量回收装置连接，热量回收装置通过管道与湿法除尘装置连接，湿法除尘装置通过管道与冷凝装置连接，湿法除尘装置通过管道与储罐连接，冷凝装置通过管道与储罐连接，储罐通过管道与精馏装置连接，精馏装置通过管道与氢化反应器连接，冷凝装置通过管道与氢化反应器连接，其特征在于：所述的湿法除尘装置采用文丘里除尘装置；所述的干法除尘装置底部装有通向氢化反应器中部的连通管。