一种高分辨率投影光学系统

摘要

发明提出了一种高分辨率投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该高分辨率投影光学系统，沿其光轴方向包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)和第四透镜单元(L4)。从光束入射方向依次排布的第一透镜单元(L1)具有负折光力，第二透镜单元(L2)具有正折光力，第三透镜单元(L3)具有负折光力，第四透镜单元(L4)具有正折光力。且所述的投影光学系统中含有4个非球面。本发明的高分辨率投影光学系统能更好的提供像质、缩短总长、减小透镜口径、提升系统分辨率。

主权项

一种高分辨率投影光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜单元（L1）、第二透镜单元（L2）、第三透镜单元（L3）和第四透镜单元（L4），所述透镜单元均处于同一光轴，其特征在于，第一透镜单元（L1）具有负折光力，第二透镜单元（L2）具有正折光力，第三透镜单元（L3）具有负折光力，第四透镜单元（L4）具有正折光力； 第一透镜单元（L1）包括第一正透镜（1）、第一弯月透镜（2）、第二正透镜（3）和第一双凹透镜（4）； 第二透镜单元（L2）包括第三正透镜（5）、第四正透镜（6）、第五正透镜（7）、第一负透镜（8）、和第二负透镜（9）； 第三透镜单元（L3）包括第二双凹透镜（10）、第三负透镜（11）、第六正透镜（12）、第七正透镜（13）和第八正透镜（14）； 第四透镜单元（L4）包括第四负透镜（15）、第九正透镜（16）、第十正透镜（17）、第十一正透镜（18）、第十二正透镜（19）、第五负透镜（20）、第十三正透镜（21）和第十四正透镜（22）。