光阻剥离液的供应系统及其供应方法

摘要

发明公开了一种光阻剥离液的供应系统及其供应方法，该光阻剥离液的供应系统包括第一储存槽，用以储存并供应第一光阻剥离废液；处理设备，用以接收并处理来自第一储存槽的第一光阻剥离废液，并分别输出光阻剥离液与第二光阻剥离废液；第二储存槽，用以储存并输出来自处理设备的光阻剥离液；及第三储存槽，用以储存来自处理设备的第二光阻剥离废液。供应系统处于第一运转阶段时，处理设备输出第二光阻剥离废液至第一储存槽，并停止输出第二光阻剥离废液至第三储存槽；供应系统处于第二运转阶段时，处理设备输出第二光阻剥离废液至第三储存槽，并停止输出第二光阻剥离废液至第一储存槽。

主权项

一种光阻剥离液的供应系统，包括：一第一储存槽，用以储存并供应一第一光阻剥离废液；一处理设备，与该第一储存槽连接，该处理设备接收并处理该第一光阻剥离废液，以分别输出一光阻剥离液与一第二光阻剥离废液；一第二储存槽，与该处理设备连接，该第二储存槽用以储存并输出来自该处理设备的该光阻剥离液；及一第三储存槽，与该处理设备连接，该第三储存槽用以储存来自该处理设备的该第二光阻剥离废液；所述光阻剥离液的供应系统还包括：一第一管路，连接该第一储存槽与该处理设备；一第二管路，连接该处理设备与该第二储存槽；一第三管路，连接该处理设备与该第三储存槽；一第四管路，连接该第一储存槽与该处理设备；及一第五管路，连接该第一储存槽与该处理设备；其中于一第一运转阶段时，该处理设备输出该第二光阻剥离废液至该第一储存槽，并停止输出该第二光阻剥离废液至该第三储存槽；于一第二运转阶段时，该处理设备输出该第二光阻剥离废液至第三储存槽，并停止输出该第二光阻剥离废液至该第一储存槽。