发明名称 |
酸性蚀刻液循环再生系统 |
摘要 |
发明公开了一种酸性蚀刻液循环再生系统,包括依次连接的蚀刻生产线用水设备(1)、中转母液罐(2)、母液罐(3)、酸性蚀刻液循环再生设备组(7)、再生子液罐(8)、配液罐(9)、过滤器(10)、子液罐(11),所述相邻的两个部件之间还连接有高压泵。本发明的优点在于:本发明设计的这种酸性蚀刻液循环再生系统,效率高,成本低,占地面积少,无任何排放。 |
申请公布号 |
CN103628064A |
申请公布日期 |
2014.03.12 |
申请号 |
CN201210304391.7 |
申请日期 |
2012.08.24 |
申请人 |
成都虹华环保科技有限公司 |
发明人 |
韦建敏;赵兴文;张小波;张晓蓓;吴圣杰 |
分类号 |
C23F1/46(2006.01)I;C25C1/12(2006.01)I |
主分类号 |
C23F1/46(2006.01)I |
代理机构 |
成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 |
代理人 |
谢敏 |
主权项 |
酸性蚀刻液循环再生系统,其特征在于:包括依次连接的蚀刻生产线用水设备(1)、中转母液罐(2)、母液罐(3)、酸性蚀刻液循环再生设备组(7)、再生子液罐(8)、配液罐(9)、过滤器(10)、子液罐(11),所述相邻的两个部件之间还连接有高压泵。 |
地址 |
610000 四川省成都市高新区西芯大道4号 |