一种包括形成薄膜电容器的方法

摘要

申请涉及用于薄膜电容器制作的溶胶-凝胶及掩模图案化，由此制作的薄膜电容器，以及含有薄膜电容器的系统，提供了一种形成薄膜电容器的工艺，包括：在第一电极上对介电薄膜的溶胶-凝胶图案化，剥离去除不需要的介电薄膜，以及给介电薄膜配上第二电极。薄膜电容器沿着其特征尺寸定义的线呈现出基本上均匀的热变形态。还公开了包括该薄膜电容器的计算系统。

主权项

一种包括形成薄膜电容器的方法，包括：在第一电极上图案化掩模；在所述第一电极和所述掩模上形成绿色介电膜，绿色介电膜的厚度在0.5微米至30微米的范围内；剥离所述掩模以获得正图案绿色介电膜；以及在剥离所述掩膜后，烧结所述正图案绿色介电膜以获得已烧结的电介质。