剥离装置

摘要

发明涉及一种剥离装置，将贴附在基板上的加强片剥离，具备：对包含所述基板及所述加强片的层叠体的一个主面进行支承的支承单元；安装在所述层叠体的另一个主面上的板状的挠性部件；固定在所述挠性部件上的与所述层叠体侧相反的一侧的面上的多个垫；分别与所述多个垫连结的多个杆；用于使所述多个杆以每一个杆为单位沿轴方向移动的多个驱动装置；对所述多个杆的位置以每一个杆为单位进行控制的控制装置，其中，所述多个垫经由多个接头中的任一个与所述多个杆中的任一个连结，并能够以所述被连结的杆的中心线与所述加强片上的所述基板侧的面或所述基板上的所述加强片侧的面的交点附近为中心进行转动，通过所述支承单元对所述层叠体的一个主面进行支承，并通过所述控制装置控制所述多个杆的位置，以使所述层叠体的另一个主面从一端侧开始依次弯曲变形。

主权项

一种剥离装置，将贴附在基板上的加强片剥离，具备：对包含所述基板及所述加强片的层叠体的一个主面进行支承的支承单元；安装在所述层叠体的另一个主面上的板状的挠性部件；固定在所述挠性部件上的与所述层叠体侧相反的一侧的面上的多个垫；分别与所述多个垫连结的多个杆；用于使所述多个杆以每一个杆为单位沿杆的轴方向移动的多个驱动装置；及对所述多个杆的位置以每一个杆为单位进行控制的控制装置，所述多个垫经由多个接头中的任一个与所述多个杆中的任一个连结，并能够以所述被连结的杆的中心线与所述加强片上的所述基板侧的面或所述基板上的所述加强片侧的面的交点附近为中心进行转动，通过所述支承单元支承所述层叠体的一个主面，并通过所述控制装置控制所述多个杆的位置，以使所述层叠体的另一个主面从一端侧开始依次弯曲变形。