确定特性的方法

摘要

一目标群和第二目标群蚀刻在衬底中。第二目标群具有相对于第一目标群的不对称性。这能够允许区分不同的目标群并且确定不同目标群的特性。

主权项

一种用于确定衬底上的特征的第一群或者第二群的特性的方法，所述第一群和第二群名义上相同并且在衬底上的单层中形成单个图案，所述图案的周期等于所述第一群的特征与所述第二群的最近的特征之间的距离，所述方法包括步骤：在所述衬底上形成第一群，所述第一群包括第一目标群；在所述衬底上形成第二群，所述第二群包括第二目标群，所述第二目标群和所述第一目标群形成组合的目标群；检测从所述组合的目标群反射的辐射；以及使用从所述目标反射的辐射计算所述第一群或所述第二群的特性，其中所述第二目标群具有相对于所述第一目标群的不对称性，其中，所述不对称性包括：所述第一目标群的特征与所述第二目标群目标的最近的特征之间的距离等于所述周期减去偏移，其中第二群的临界尺寸是变化的。