| 主权项 |
一种磁悬浮分子泵转子章动峰振动控制方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）磁悬浮分子泵转子升速时，磁悬浮分子泵控制器控制转子位移检测装置采集所述磁悬浮分子泵转子的位移信号，并将所述位移信号传输给转子振动检测装置；（2）所述转子振动检测装置中设置有数字信号处理单元，所述数字信号处理单元将所述位移信号进行快速傅立叶变换得到转子振动频谱，根据所述转子振动频谱得到转子章动峰的频率和幅值，然后将所述转子章动峰的频率和幅值传输到所述磁悬浮分子泵控制器中；（3）所述磁悬浮分子泵控制器包括转子章动峰振动控制单元，所述转子章动峰振动控制单元中预先设置有控制参数，所述磁悬浮分子泵控制器中预先设置有转子章动峰的预设稳定工作阈值和预设安全阈值，所述磁悬浮分子泵控制器判断步骤（2）中得到的转子章动峰的幅值是否超过所述预设稳定工作阈值，如果所述转子章动峰的幅值超过所述预设稳定工作阈值，则修改所述转子章动峰振动控制单元的控制参数来抑制章动峰；（4）当转子转速变化时，重复步骤（1）‑（3），从而得到适合各个转速段的一系列所述转子章动峰振动控制单元的控制参数，将所述转子章动峰振动控制单元的控制参数记录在泵内存储器中；在上述过程中，如果所述转子振动检测装置检测到转子振动超过所述预设安全阈值，所述磁悬浮分子泵控制器则控制电机停机，保证磁悬浮分子泵的运行安全；（5）所述磁悬浮分子泵控制器控制速度检测装置检测转子转速，并根据转子转速调用步骤（4）中所述该转速段对应的控制参数进行控制，从而保证磁悬浮分子泵稳定工作。2. 根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于：所述转子章动峰振动控制单元的控制参数包括一系列章动峰抑制控制参数及其对应的速度范围。3. 根据权利要求1或2所述的控制方法，其特征在于：在所述步骤（2）中，所述数字信号处理单元包含高速数字处理芯片。4. 根据权利要求3所述的控制方法，其特征在于：在所述步骤（3）中，设置的所述转子章动峰的预设稳定工作阈值为转子本频振动幅值的30%，设置的所述转子章动峰的预设安全阈值为转子本频振动幅值的60%。 |
