| 发明名称 | 形状检查方法、结构物的制造方法以及形状检查装置 | ||
| 摘要 | 发明提供能非破坏、精度良好地检查具有凹凸形状的检查对象的形状检查方法、结构物的制造方法以及形状检查装置。本发明的形状检查方法是对表面具有凹凸形状的标准样品和表面具有凹凸形状的检查对象照射光，比较上述标准样品的多个波长的反射率和上述检查对象的上述多个波长的反射率，由此检查上述检查对象的上述凹凸形状的形状检查方法。 | ||
| 申请公布号 | CN103635776A | 申请公布日期 | 2014.03.12 |
| 申请号 | CN201280033095.6 | 申请日期 | 2012.06.29 |
| 申请人 | 夏普株式会社 | 发明人 | 林秀和;田口登喜生;三成千明 |
| 分类号 | G01B11/24(2006.01)I;G01B11/22(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人 | 权鲜枝 |
| 主权项 | 一种形状检查方法，对表面具有凹凸形状的标准样品和表面具有凹凸形状的检查对象照射光，比较上述标准样品的多个波长的反射率和上述检查对象的上述多个波长的反射率，由此检查上述检查对象的上述凹凸形状。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||