缺陷修复装置

摘要

发明提供缺陷修复装置，其向基板照射具有均匀强度分布的激光。该缺陷修复装置通过光纤将从激光光源出射的激光引导到加工头而修复基板上的缺陷部分，该缺陷修复装置包括：基板台，其使所述基板保持平面状态；门式台架，其隔着所述基板台进行架设；驱动机构，其使所述基板台和所述台架相对移动；安装部，其能够沿着所述台架的水平梁进行移动，并一体安装有所述激光光源和加工头；光纤，其对一体安装在所述安装部上的所述激光光源与所述加工头之间进行连接；以及多个搅模器，将所述光纤向互不相同的方向微微弯曲而调整光纤内的模式分布。

主权项

一种缺陷修复装置，该缺陷修复装置通过光纤将从激光光源出射的激光引导到加工头而修复基板上的缺陷部分，该缺陷修复装置的特征在于，该缺陷修复装置包括：基板台，其使所述基板保持平面状态；门式台架，其隔着所述基板台进行架设；驱动机构，其使所述基板台和所述台架相对移动；安装部，其能够沿着所述台架的水平梁进行移动，并一体安装有所述激光光源和加工头；光纤，其对一体安装在所述安装部上的所述激光光源与所述加工头之间进行连接；以及多个搅模器，将所述光纤向互不相同的方向微微弯曲而调整光纤内的模式分布；其中，所述光纤配置为，作为出射侧的所述加工头侧的端部相对于所述加工头的入射光轴以直线状延伸；所述光纤具有固定部件，该固定部件设置在所述安装部上，并将所述端部以直线状进行固定。