发明名称 光致抗蚀膜和使用该光致抗蚀膜的有机发光显示装置的制造方法
摘要 发明公开了一种光致抗蚀膜和使用所述光致抗蚀膜的有机发光显示装置的制造方法。所述光致抗蚀膜包括支持膜上的光至热转换层,和所述光至热转换层上的热敏性聚合物层,其中,由于所述光致抗蚀膜包含热敏性聚合物,因而该光致抗蚀膜通过调节温度和使用脱离膜而容易脱离转移衬底。
申请公布号 CN103631093A 申请公布日期 2014.03.12
申请号 CN201210576915.8 申请日期 2012.12.27
申请人 乐金显示有限公司 发明人 朴宰贤;金珍郁;金玮镕;闵慧理;金玟知;孙荣兑;申英燮
分类号 G03F7/09(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 主分类号 G03F7/09(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 丁香兰;庞东成
主权项 一种光致抗蚀膜,所述光致抗蚀膜包括:支持膜上的光至热转换层;和所述光至热转换层上的热敏性聚合物层。
地址 韩国首尔