| 主权项 |
一种固体摄像装置的制造方法，其特征在于，包括：在具有多个光电二极管层的半导体基板的主表面上形成透明树脂层的步骤；将在相互隔开的位置上具有第一透过区域和光透过率比该第一透过区域高的第二透过区域的光栅掩膜配置为所述第一透过区域和所述第二透过区域分别位于所述光电二极管上之后，采用所述光栅掩膜地对所述透明树脂层进行曝光的步骤；通过对所述透明树脂层进行显影，在相互隔开的位置上形成第一树脂图案和比该第一树脂图案的高度低的第二树脂图案的步骤；以及通过对所述第一树脂图案和所述第二树脂图案进行热处理，形成第一微透镜和比该第一微透镜的高度低的第二微透镜的步骤，多个光电二极管层在所述半导体基板上格子状地排列而形成，并且，在所述光栅掩膜中，格子状地相互隔开地配置：排列成方格状且相互隔开的多个所述第一透过区域和分别配置在所述多个第一透过区域之间且相互隔开的多个所述第二透过区域；形成所述第一树脂图案和所述第二树脂图案的步骤是，通过对采用具有所述多个所述第一透过区域和所述多个第二透过区域的光栅掩膜而曝光后的所述透明树脂层进行显影，形成方格状排列且相互隔开的多个所述第一树脂图案，以及在这些第一树脂图案之间与它们隔开地配置、且相互隔开的多个所述第二树脂图案的步骤。 |
