发明名称 |
一种在4Cr13不锈钢游标卡尺表面沉积氮化钛薄膜的工艺 |
摘要 |
发明公开了一种在4Cr13不锈钢游标卡尺表面沉积氮化钛薄膜的工艺,它是对4Cr13不锈钢游标卡尺表面进行物理和化学清洗;其次利用电弧离子镀或离子溅射镀或射频溅射镀技术,在4Cr13马氏体不锈钢游标卡尺表面沉积0.1~0.5μm的纯金属或合金作为过渡层,该过渡层可以是纯钛或纯镍或纯铜或纯钼或纯铬等,合金可以是铁碳合金或钨钼合金或镍铬合金等;第三再通入一定比例的反应气体氮气和氩气,沉积厚度为0.5~1μm氮化钛硬质薄膜层。本发明的在游标卡尺等工具表面沉积的氮化钛薄膜具有高强度、高硬度、耐腐蚀、抗磨损以及良好的视觉效果。 |
申请公布号 |
CN103628024A |
申请公布日期 |
2014.03.12 |
申请号 |
CN201310572311.0 |
申请日期 |
2013.11.15 |
申请人 |
桂林电子科技大学 |
发明人 |
高原;陆小会;董中新;王成磊;张焱;吴炜钦;韦文竹;张光耀 |
分类号 |
C23C14/06(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/06(2006.01)I |
代理机构 |
桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 |
代理人 |
罗玉荣 |
主权项 |
一种在4Cr13不锈钢游标卡尺表面沉积氮化钛薄膜的工艺,其特征是:包括如下步骤:(1)将4Cr13不锈钢游标卡尺放入丙酮溶液进行超声波清洗10~30分钟,然后用无水酒精进行超声波清洗10~30分钟,最后用吹风机吹干;(2)将表面经过清洁的4Cr13不锈钢游标卡尺,放入离子镀沉积设备中,抽真空到1×10‑3 ~2×10‑4 Pa时,通入氩气,开启偏压电源,偏压幅值调至‑600~﹣800 V,对卡尺进行轰击活化清洗10~30min;(3)轰击活化清洗后通入Ar气至工作气压1 Pa~10‑2Pa,调节溅射电源的电流、电压、试样负偏压等工艺参数,该电源可以是电弧电源或离子溅射电源或者射频溅射电源,沉积时间10~30 min,制备一层纯金属或合金作为过渡层,该过渡层可以是纯钛或纯镍或纯铜或纯钼或纯铬等,合金可以是铁碳合金或钨钼合金或镍铬合金等;(4)过渡层制备结束,通入一定比例的反应气体氮气和氩气,调节溅射电源的电流、电压以及试样偏压,进行40~60分钟的氮化钛沉积。 |
地址 |
541004 广西壮族自治区桂林市七星区金鸡路1号 |